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Campo DC Valor Lengua/Idioma
dc.creatorFlorido Cuellar, A.-
dc.creatorZapata-Navarro, A.-
dc.creatorBecerril, M.-
dc.creatorZelaya-Angel, O.-
dc.creatorMendoza-Alvarez, J.-
dc.creatorCalderon, A.-
dc.date2012-03-27T00:54:10Z-
dc.date2012-03-27T00:54:10Z-
dc.date2008-06-
dc.date.accessioned2013-01-16T11:44:00Z-
dc.date.available2013-01-16T11:44:00Z-
dc.date.issued2013-01-16-
dc.identifier978-607-414-014-9-
dc.identifierhttp://hdl.handle.net/123456789/510-
dc.identifier.urihttp://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10999-
dc.descriptionSe reportan una serie de crecimientos de películas delgadas de TiO2 por la técnica de deposición rf magnetrón sputtering. Las condiciones de crecimiento fue, a una potencia de radio frecuencia a 150 watt, una presión de crecimiento de 10mtorr la cual tiene una distribución 1:1 de 5mtorr de oxigeno y 5mtorr de argón, con un blanco de titanio de una pureza de 99.999%, y una distancia de separación blanco sustrato de 10cm, y sobre un sustrato de vidrio Corning. El parámetro que se vario fue la temperatura la cual fueron 300oC, 400oC y 500oC donde las técnicas de caracterización óptica determinamos su gap de energía entre 2.84 y 3.3 eV, dado tanto para la fase rutile como para la fase anatasa, y mediante la difracción de rayos x y micro Raman nos muestran su poli critanilidad, su orientación y sus modos vibracionales de estas muestras. Por difracción de rayos x podemos determinar también su tamaño de grano promedio y lo verificamos con microscopia de fuerza atómica lo cual nos muestra una variación de su tamaño el cual varia de 0.98Å a 2.78Å como se muestra en las figuras de MFA obteniendo una caracterización completa de nuestras muestras-
dc.descriptionArticulo en extenso en memoria de simposio.-
dc.descriptionInstituto Politecnico Nacional.-
dc.languagees-
dc.publisherInstituto Politecnico Nacional-
dc.subjectdioxido de titanio-
dc.subjectpeliculas delgadas-
dc.titleCaracterización óptica y estructural de películas de dióxido de titanio crecidas por la técnica de rf-sputtering-
dc.typeArticle-
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