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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10999
Registro completo de metadatos
Campo DC | Valor | Lengua/Idioma |
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dc.creator | Florido Cuellar, A. | - |
dc.creator | Zapata-Navarro, A. | - |
dc.creator | Becerril, M. | - |
dc.creator | Zelaya-Angel, O. | - |
dc.creator | Mendoza-Alvarez, J. | - |
dc.creator | Calderon, A. | - |
dc.date | 2012-03-27T00:54:10Z | - |
dc.date | 2012-03-27T00:54:10Z | - |
dc.date | 2008-06 | - |
dc.date.accessioned | 2013-01-16T11:44:00Z | - |
dc.date.available | 2013-01-16T11:44:00Z | - |
dc.date.issued | 2013-01-16 | - |
dc.identifier | 978-607-414-014-9 | - |
dc.identifier | http://hdl.handle.net/123456789/510 | - |
dc.identifier.uri | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10999 | - |
dc.description | Se reportan una serie de crecimientos de películas delgadas de TiO2 por la técnica de deposición rf magnetrón sputtering. Las condiciones de crecimiento fue, a una potencia de radio frecuencia a 150 watt, una presión de crecimiento de 10mtorr la cual tiene una distribución 1:1 de 5mtorr de oxigeno y 5mtorr de argón, con un blanco de titanio de una pureza de 99.999%, y una distancia de separación blanco sustrato de 10cm, y sobre un sustrato de vidrio Corning. El parámetro que se vario fue la temperatura la cual fueron 300oC, 400oC y 500oC donde las técnicas de caracterización óptica determinamos su gap de energía entre 2.84 y 3.3 eV, dado tanto para la fase rutile como para la fase anatasa, y mediante la difracción de rayos x y micro Raman nos muestran su poli critanilidad, su orientación y sus modos vibracionales de estas muestras. Por difracción de rayos x podemos determinar también su tamaño de grano promedio y lo verificamos con microscopia de fuerza atómica lo cual nos muestra una variación de su tamaño el cual varia de 0.98Å a 2.78Å como se muestra en las figuras de MFA obteniendo una caracterización completa de nuestras muestras | - |
dc.description | Articulo en extenso en memoria de simposio. | - |
dc.description | Instituto Politecnico Nacional. | - |
dc.language | es | - |
dc.publisher | Instituto Politecnico Nacional | - |
dc.subject | dioxido de titanio | - |
dc.subject | peliculas delgadas | - |
dc.title | Caracterización óptica y estructural de películas de dióxido de titanio crecidas por la técnica de rf-sputtering | - |
dc.type | Article | - |
Aparece en las colecciones: | Doctorado |
Ficheros en este ítem:
Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
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